CNC Fórum

Nevěděl by někdo princip výroby fotolitografických masek pro výrobu čipů ? Jedná se o masky, které se pak fotocestou přenášejí na fotorezist vrstvený na wafferu. Při současné dosahované velikosti spojů na čipu 22nm musí být při výrobě fotomasky dosaženo alespoň řádově vyšší přesnosti, řekněme 5nm.

Někde jsem četl, že se průhledná místa na masce vypálí paprskem elektronů, ale pořád je tam potřeba nějaké zařízení pro pohyb - zaměření paprsku nebo zařízení co pohybuje maskou pod paprskem. Jak fungují takové mechanické prvky (motorky, vedení ??)

Zajímá mě na jakém principu fungují takové přesné mechanické prvky a jestli se dá něco podobného s menšími dosahovanými přesnostmi sehnat.

No, to si myslím, že v tomto rozlišení se ten proud elektronů či co vychyluje magnetickým nebo elektrostatickým polem, jakákoliv mechanická záležitost tak do jednotek setin či tisíciny (ona tam pak už vstupuje mechanická tuhost jednotlivých komponent, nějaké ty vůle a rovněž teplotní roztažnost, takže nějaké stovky či desítky nm jsou podle mne nereálné).

Pokial ide o vyrobu masiek .. tam sa pouziva kresba v 1000 nasobnej velkosti a normalne opticke zmensenie. (samozrejme svetlo s najmensou vlnovou dlzkou). Mechanicke polohovanie tu nehraje velku rolu. Pre technicku prax je presne mechanicke polohovanie ina vec. Najpresnejsie mechanicke polohovanie je riesene vacsinou piezoelementmi. Zial . aj rozsah pohybov je tym omedzeny. Druha moznost je uz spomenute elektromagneticke ovladanie, ale tam je problem s tym, ze to vyzaduje spatnu vazbu (na hardiskoch jeto servoslucka od citacieho zosilnovaca a nasledna logika kd eprocesor HD zisti podla precitaneho infa z disku ze ci je na spravnej stope ak nie posunie "naslepo" podla hrubo vypocitanej odchylky hlavu dalej a tak cita nanovo , nejak presnejsie "tabulkovat" to nejde, nakolko teplom sa toto polohovanie kompletne rozhadze). Ina vec je vysoko presne polohovanie pri formatovani HD - zial presne neviem ako to sieria.. pravdepodobne vsak dvojica hlav . kde prva stopa sa naformatuje "naslepo" a dalsia astopa ide "paralelne" k nej kedze prva hlava z dvojice sa dokaze uz servosluckou drzat povodnej na povodnej stope a druha hlava prislusne posunuta formatuje novu stopu.

k píše:Pokial ide o vyrobu masiek .. tam sa pouziva kresba v 1000 nasobnej velkosti a normalne opticke zmensenie.

Zkusil jsem najít nějaké info na Internetu, podle toho co jsem zjistil se litografické masky běžně dělají v měřítku 1:1 (maximálně 1:10) a při výrobě se používá kombinace obou metod, jak vychylování elektronového paprsku elektromagnetickým/statickým nábojem, tak ultra přesné mechanické polohovací jednotky s přesností na jednotky nm ! Dokonce jsem našel nějaké lineární piezomotory s rozlišením v řádu nm, ale ceny jsem nikde nezjistil .. a asi by mi to bylo k ..

Motorky z harddisku jsou dobrý nápad, na jakým principu jsou konstruované ? Nebo by někdo věděl, kde se dají sehnat piezomotory za nějakou slušnou cenu ? Jedná se mi o polohovací stolek pod mikroskop, dík.

Hlavy v hardisku jsou vychylovany pomoci civek.

Mambo píše:Hlavy v hardisku jsou vychylovany pomoci civek.

Na stejném principu jako v ručičkovém měřáku. Na konci té "ručičky" jsou hlavy.

A co takhle reproduktor, kmitačka u bass-repro se dokáže vychýlit až několik mm.

rostock píše:

k píše:Pokial ide o vyrobu masiek .. tam sa pouziva kresba v 1000 nasobnej velkosti a normalne opticke zmensenie.

Zkusil jsem najít nějaké info na Internetu, podle toho co jsem zjistil se litografické masky běžně dělají v měřítku 1:1 (maximálně 1:10) a při výrobě se používá kombinace obou metod, jak vychylování elektronového paprsku elektromagnetickým/statickým nábojem, tak ultra přesné mechanické polohovací jednotky s přesností na jednotky nm ! Dokonce jsem našel nějaké lineární piezomotory s rozlišením v řádu nm, ale ceny jsem nikde nezjistil .. a asi by mi to bylo k ..

Motorky z harddisku jsou dobrý nápad, na jakým principu jsou konstruované ? Nebo by někdo věděl, kde se dají sehnat piezomotory za nějakou slušnou cenu ? Jedná se mi o polohovací stolek pod mikroskop, dík.

Rostock: Mohl bys prosím uvést link na to ultrapřesné mechanické polohování, jako strojaře mne to hodně zajímá a dneska bohužel nemám čas surfovat a zítra už bych na to ani nevzdechl. Díky

[quote=Mohl bys prosím uvést link na to ultrapřesné mechanické polohování, jako strojaře mne to hodně zajímá a dneska bohužel nemám čas surfovat a zítra už bych na to ani nevzdechl. Díky[/quote]

Jasně, co jsem našel na Internetu, ale moc tomu nerozumim, takže ode mě nečekej nějakou technickou radu.

http://www.piezo-motor.net/#nexline - musíš se v tom trochu pohrabat, mají tam i produktová pdfka, kde jsou tech. detaily

http://csnmt.fme.vutbr.cz/nano02/sbornik/67.pdf - je to o EBL obecně, ale je tam i zmínka o polohovacích stolech např: BS601R

ještě tady jsou takový hezký obrázky

http://www.pi-usa.us/technotes/Actuator ... ange_c.pdf

Pochopil jsem to tak, že u hybridních systémů hrubé polohování odvede servomotor a jemné doladění pak piezoelement. Zpětná vazba, konstantní teplota okolí, bezprašnost atd jsou u takových aplikací samozřejmostí.

Jenom mi není jasné jakým způsobem se u takového složitého systému dokážou zbavit hystereze (vůle)

Ted jsem dočetl ten článek z VUTBR. Tam je to podobně,cituji

Tvarování svazku v diskrétních krocích po 100nm je možné v rozsahu 100nm až 6.3µm, vychylování svazku v krocích po 100nm je možné v rámci vychylovacího pole velikosti až 3x3mm. Mezní rozlišení přístroje je 100nm. Souřadnicový stůl umožňuje zpracovávat substráty do velikosti až 100x100mm, přesnost jeho polohování v obou směrech pohybu X a Y je odměřována He-Ne laserovým interferometrem s detekcí λ/16 (40nm) .

tedy hrubá práce serva a doladění přesné polohy vychylováním proudu elektronů nějakým polem na základě přesně změřené polohy pomocí laserové interference.

Díyk, hned jsem zase chytřejší

bol som v jednej firme a tam mali vreteno sustruhu, co dokaze zastavit s presnostou na niekolko nm. vraj. ale ze to sa pravdaze nepouziva, bolo to pohanane servomotorom.
inak ten actuator aj mna napadol. a podla toho co viem, ale nie je potebne prevadzat pohyb actuatora na rotacny a potom na priamociary cez pohybovu skrutku. ide to napriamo a dost presne.

ferguson píše:vreteno sustruhu, co dokaze zastavit s presnostou na niekolko nm.

Tak to si z tebe udělaly pěknýho vola Některý lidi maj holt v tomhle potěšení, dělat si z ostatních méně znalých prču.

Ale když tom tak přemejšlim, tak on dokáže zastavit s přesností na nm i obyč soustruh od rejže. Akorát neni možnost zjistit, kterej z těch několika miliard nanometrů po obvodu sklíčidla to je...

rostock píše:Jedná se mi o polohovací stolek pod mikroskop, dík.

Jaký potřebuješ krok? K jakému mikroskopu? Řešení nebude v drahém motoru, ale ve slušném řízení.

Znám dostatečně výrobu masek v případě zájmu se mi ozvěte.